目前，真空泵现在广泛运用于各种机械行业中，而真空泵油不仅作为获得真空的介质，还对机械摩擦点起润滑、冷却和密封作用。
一、水环式真空泵的工作原理
1、CG-17玻璃三级高真空油扩散泵及其工作原理GG－17玻璃膨胀系数低，能更好地耐受很高的温度差变，故该泵比同型泵能受得起高温而且使用寿命也更长。该泵适用于电子工业，如电子管。显象管。X光管，以及半导体单晶硅的冶炼提纯，高沸点的油脂蒸馏提纯分离，日光灯，保温瓶高真空排气的仪器。工作原理： 先由转动真空泵把系统抽到10～2Pa扩散泵油被加热沸腾，以高速从喷出的油蒸汽流不断将系统内气体分子带到泵的侧臂弯管球泡处集结，待气体密度达到机械真空泵的工作范围而被抽出，从而逐渐获得高真空。
2、水环式真空泵/液环真空泵工作原理水环真空泵（简称水环泵）是一种粗真空泵，它所能获得的极限真空为2000～4000Pa，串联大气喷射器可达270~670Pa.水环泵也可用作压缩机，称为水环式压缩机，是属于低压的压缩机，其压力范围为1～2105Pa表压力。水环泵最初用作自吸水泵，而后逐渐用于石油、化工、机械、矿山、轻工、医药及食品等许多工业部门。
在工业生产的许多工艺过程中，如真空过滤、真空引水、真空送料、真空蒸发、真空浓缩、真空回潮和真空脱气等，水环泵得到广泛的应用。由于真空应用技术的飞跃发展，水环泵在粗真空获得方面一直被人们所重视。由于水环泵中气体压缩是等温的，故可抽除易燃、易爆的气体，此外还可抽除含尘、含水的气体，因此，水环泵应用日益增多。
二、真空泵油的工作原理
在真空泵中真空泵油不仅作为获得真空的介质，还对机械摩擦点起润滑、冷却和密封作用。
1.极低的蒸气压
这是真空泵油的最重要的性能，由于真空泵要求真空度很高，一般用石蜡基窄馏分润滑油，对于扩散真空泵，还可使用蒸气压很低的硅油或其他合成油。
2.合适的粘度和良好的粘温特性
真空泵腔内容积不断变化而形成排气作用，要求润滑油应具有合适的粘度和粘温特性。
3.良好的热氧化安定性
真空泵不断向高速度发展，由于滑片和泵体的高速摩擦使油温升高，油品很容易氧化分解，尤其扩散泵往往处于很高的温度环境下工作，使系统内蒸气压升高，真空度降低，因此要求真空泵油具有良好的热氧化安定性。
4.良好的抗腐蚀性和抗乳化性
真空泵吸入的如果是腐蚀性气体，会与油发生化学反应，腐蚀泵内零件；吸入空气中往往含有水汽冷凝水，引起真空泵油的乳化并使金属腐蚀，所以要求具有良好的抗腐蚀和抗乳化性。
5.较高的闪点
主要要求真空泵中不携带轻质组分，以免影响油品的饱和蒸气压。
6.较低的极限压力
极限压力是真空泵油重要的使用性能指标以了解在最低真空极限压力下真空泵的极限压力。