干式螺杆真空发生器，是利用一对螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备，两螺杆经精细动平衡校正，由轴承支撑，安装在泵壳中，螺杆与螺杆之间都有一定的间隙，因此泵工作时，相互之间无磨擦，运转平稳，噪音低，工作腔无需润滑油，因此，干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合。
特别是在：
1）制药工业产品提纯及特殊干燥处理
2）溶解物的还原，如烘干、过滤、结晶及蒸馏处理工艺
3）食品工业真空抽气处理
4）饮料工业中的真空灌注
5）抽气挤压机
6）所有与油发生反应的真空工艺过程 如果用旋片泵的缺点是时间的话，可以考虑在旋片泵上加一个罗茨真空泵，可以大大缩短抽气时间。罗茨真空发生器就是为此目的开发的，还可以减少功耗。
旋片式真空发生器的构造：
它有公平地装在定子腔内的转子及转子槽内的两个或数个旋片，转子与泵壳内外表或相切或相交，转子带动旋片旋转时，旋片借向心力（有的还有弹簧力）紧贴缸壁，把进排气口联系开来，并使进气腔容器周期性扩展而吸气，排气腔容积则周期性地减少而紧缩气体，借气体和油的压力推开排气阀排气，从而取得真空。双级泵由二个单级串联而成，进气压力高时，普通大中型泵，二级可同时排气，进气压力低时，气体由初级排入低级，然后再排出泵外。
旋片式真空发生器常用的材质为一种新型自光滑材质—碳素浸合金。国内有的研讨单位还对其他材质资料用作旋片做了综合测试，结果标明用碳纤维加强塑料、高分子液晶资料作旋片材质具有开发价值。