真空断路器主要包含三大部分：真空灭弧室、电磁或弹簧操动机构、支架及其他部件。“高压真空断路器”因其灭弧介质和灭弧后触头间隙的绝缘介质都是高真空而得名；其具有体积小、重量轻、适用于频繁操作、灭弧不用检修的优点，在配电网中应用较为普及。真空断路器在真空泡内开断电流并进行灭弧，而真空断路器本身没有定性、定量监测真空度特性的装置，所以真空度降低故障为隐性故障，其危险程度远远大于显性故障。
真空度降低的主要原因有以下几点：
(1) 真空泡的材质或制作工艺存在问题，真空泡本身存在微小漏点；
(2) 真空泡内波形管的材质或制作工艺存在问题，多次操作后出现漏点；
(3) 分体式真空断路器，如使用电磁式操作机构的真空断路器，在操作时，由于操作连杆的距离比较大，直接影响开关的同期、弹跳、超行程等特性，使真空度降低的速度加快。
主要预防真空度降低的措施：
(1) 选用真空断路器时，必须选用信誉良好的厂家所生产的成熟产品；
(2) 选用本体与操作机构一体的真空断路器；
(3) 运行人员巡视时，应注意断路器真空泡外部是否有放电现象，如存在放电现象，则真空泡的真空度测试结果基本上为不合格，应及时停电更换。