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直线电机在高端运动系统平台中的应用

作者/出处: 网络 发布时间: 2019-05-05

在PCB打孔应用中,因为生产批量大且产量极高,精度要求更具挑战性。这类机器通常要求精度优于4 μm,且需要用1.5 g的加速度沿X轴和Y轴运动,运动件质量通常在300 Kg范围内。

1.直线电机在PCB打孔机中的应用

客户选择用HANS直线电机满足这个要求。除X轴和Y轴外,运动速度极快的Z轴方向打孔运动也用HANS直线电机。

典型运动周期为:X轴和Y轴定位运动,然后全部Z轴进行同步打孔运动。在这类应用中,电机的最大推力很重要,因为达到每分钟800个周期的生产要求,需要极高的加速度。 此外,极高的负荷周期要求直线电机必须高效。HANS的LSM系列直线电机持续推力大,结构紧凑而且发热少。HANS电机的选用以及合理的机器设计和高性能的打孔工艺使该机成为最高端的PCB打孔机,打孔数量达600,000个。

2.直线电机在AOI系统中的应用

许多生产过程中,产品检测是确保最终产品功能和可靠性的重要步骤。HANS直接驱动的直线电机在自动光学检测(AOI)系统中有广泛应用,精度高和产能大。

例如,PCB检测系统中,电路板的线距大约为15微米,必须用高性能光学系统和运动系统保证最大可能的产能。在IC基体检测中,对芯片级或球栅阵列封装中的基体需控制的结构只有数微米的尺寸。而且,必须保证在整个表面上达到所需的精度,还不能影响性能或机器产能。高精度的点到点运动和极短在位时间只有HANS直接驱动技术才能实现。

用户用HANS的LSM系列有铁心直线电机安全地设计出非常灵活的机器,高性能地执行大量AOI检测任务。HANS电机的高推力密度使结构设计非常紧凑,最大限度利用工作区和提高整机产能。此外,质量和可靠性是两个HANS产品带给客户优势的重要特点,确保最终产品稳定,免维护和长使用寿命。最后,标准化的LSM电机的扩展机型让用户更方便地开发自己的机型,它所提供的稳定运动系统能不断满足用户对变化的技术条件的要求。

3.hans独特的直线电机运动控制技术在飞针检测机中的应用

多年来,HANS深耕电子行业,为电子行业提供高性能运动控制系统。在飞针测试机的应用中,产量和精度是成功的关键。现在,配HANS的LSM系列直线电机的测试机是目前市场上产能最高的机型,而且不牺牲任何精度。图中测试机的主要轴都由HANS的LSM系列直线电机驱动,运动速度极高,运动分辨率小于20 nm。HANS的标准化有铁芯直线电机以及合理的测试机结构设计使这些测试

机成为市场上的标杆。

在该应用中,轴数达24轴的快速和精确控制通过HANS的位置和运动控制单元实现。HANS电机与运动控制单元间的紧密配合以及HANS控制单元的先进功能决定了在这类应用所表现出的超凡性能。

此外,与客户共同开发的定制电机结构实现了15 g加速度的飞针Z轴运动的高速度。这个独有且全集成的Z轴结构最佳地满足了该应用所需的高性能和低拥有成本要求。

最后,这台基于HANS直接驱动技术的测试机实现了极高探测精度和极高产量。而这种高性能无法用其他类型的运动驱动技术实现,例如磁阻平面电机或旋转类电机系统。

4.hans独特的直线电机运动控制技术在焊线机中的应用

HANS已应用于IC生产中的许多重要阶段。从最开始的光刻到最终的贴片机,HANS提供满足最高应用要求的最恰当直接驱动电机。焊线机是半导体设备生产中最重要的工序之一,HANS在帮助客户实现机器高性能过程中发挥了重大作用。

焊线机型号多样,运动系统设计中主要技术参数可能不完全相同。但速度,精度和可靠性是任何一种设计中最重要的要求。焊线机行业中多家最著名公司都选用HANS解决方案满足他们对高性能的要求。

HANS直线电机和控制单元型号丰富,能完美满足高端机器的最高要求。一方面,采用HANS的无铁心电机降低运动质量,提高运动轴的动态性能,最终实现当今市场上最快焊线速度。另一方面,有铁心电机也用于最大限度提高推力密度,因此能在给定体积内实现最大焊区。HANS运动控制技术中最先进功能帮助用户实现微米级的最高精度且不牺牲机器产能。

5.hans独特的直线电机运动控制技术在晶圆检测系统中的应用

HANS直线电机技术已大量应用于半导体业所需的最先进运动系统。如果精度等级需要达到亚微米级,位置稳定性需要纳米级,必须用最先进的技术。 对这样的要求,任何部件缺陷都将影响整机性能。正因为此,HANS为用户提供全套运动系统平台,它具有最高质量的部件和最好的机械结构设计技术。在晶圆检测工具中,需要极高的精度和极高产能。

为满足高标准应用要求,HANS采用LSM直线电机以及其特有功能满足这种高科技行业要求。最终,这些重要部件成为实现最高性能机械系统的组成部分。

例如, 右图中的滑台在刀具位置的加速度达到1g,运动速度1m/s, 精度1.5微米, 重复精度200纳米。使用一体化的电机,控制单元,位置测量系统和机械设计,实现亚纳米级短行程定位运动。

AOI / 贴片机

在大部分微电子器件生产中都需要进行无损检测。这种检测用于确保产品功能和可靠性。由于是在线检测,因此速度必须快,精度必须高,确保生产线产

能不受品质控制程序的影响。

根据被测产品类型,从无源器件到复杂IC,需要用不同的检测技术,例如光学检测,X射线检测或超声检测,HANS产品在2D和3D自动光学检测(AOI)设备中有广泛应用,由直线电机技术构成的全套运动系统带给用户高精度和最高产能。

检测设备中,为达到最高性能,通常两个重要系统必须保持同步:运动平台和检测系统本身。由于HANS能够提供带运动控制单元的完整运动平台系统,确保了检测设备的关键运动技术要求。这使OEM公司能够专注于其在检测系统、缺陷识别软件等方面的核心竞争力,同时所需精度,重复精度和产能由经验丰富的运动系统供应商—HANS公司保证。

在电子后道设备中,AOI滑台通常比晶圆检测系统要求低,但整体动态性能要求更高,加工区更大。对有些应用,X-Y轴行程构成的检测区超过1㎡,而绝对精度要求低于10微米和重复精度在微米级。2 m/s以上的运动速度是正常速度,要保证3g的加速度才能保证动态性能好,且不能牺牲精度。

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