1.轻量、低断面、紧凑的洁净工作台。以轻量、低断面、紧凑的精密定位工作台TE为基础，采用提高了工作台内部密封性结构的定位工作台。通过实现了TC50EB为50mm。TC60EB为54mm、TC86EB为67mm的低断面。传感器直接安装于侧盖的传感器安装槽中，有助于节省空间。 2.高耐腐蚀性。主要构建采用经阳极氧化处理的高强度铝合金与不锈钢（不锈钢板），具有出色的耐腐蚀性。 3.符合清洁度3级标准。通过华泰内的树脂制滚子将不锈钢板固定于侧盖上，通过强力磁板牢固吸附，并密封驱动部分及滑台导向部。通过从密闭空间吸引空气，可放置滑台周围发尘。
型号
