1.实现各种各样的动作定位模块 该定位模块以精密定位工作台TU为基础,组合使用高 刚性型交叉滚子轴承和直线导轨,专为校准工作台开 发而成。 2. 可自由设计符合用途的工作台 可将校准模块AM与各种工作台和基站组合使用,自由 设计符合用途的校准工作台。 3. 无需调整高度 高度尺寸容许公差控制在±10μm的高精度范围内。无 需调整各校准模块AM的高度,即可构建校准工作台。
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