1. 结构紧凑,体积小,安装简便。 2. 使用多级发生器产生真空,可以提供较大的真空流量。 3. 密封件材质为丁腈橡胶,另可订购氟化橡胶材质。 4. 相对于UBM系列,UBX系列可以达到更高的真空压力。
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